8×16四位相光柵分光器優(yōu)化設計
楊少睿; 羅風光; 劉豪; 王浩宇 華中科技大學光學與電子信息學院; 武漢430074
關鍵詞：多位相光柵分光器 模擬退火優(yōu)化算法 光互連
摘要：設計了二維多位相光柵分光器的位相結構,并根據(jù)周期性位相結構推導出位相光柵的二維分光公式,使用模擬退火優(yōu)化算法對二維8×16四位相光柵分光器的位相結構進行了優(yōu)化設計,得到了二維分光效率為70.03%、不均勻度僅為4.6×10-4的位相光柵。將優(yōu)化計算得到的位相分布結果進行拆分,制作了光刻版,利用光刻版套刻制作了四位相光柵分光器樣品,并搭建光路對樣品的分光性能進行了測試,結果表明,多位相結構能顯著提高光柵的分束效率和均勻性。
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