三維傳輸子量子比特制備研究
劉奧譜; 曹春海; 盧盛; 李永超; 潘佳政; 涂學(xué)湊; 孫國柱; 陳健; 許偉偉; 吳培亨 南京大學(xué)超導(dǎo)電子研究所; 南京210093
關(guān)鍵詞：隧道結(jié) 三維傳輸子 量子比特
摘要：研究了三維傳輸子(3D-transmon)量子比特的制備技術(shù)。采用電子束光刻技術(shù)制備亞微米雙層膠懸空掩模,電子束斜蒸發(fā)技術(shù)制備Al/AlOx/Al超導(dǎo)隧道結(jié)。將隧道結(jié)與三維諧振腔耦合,成功實(shí)現(xiàn)3D-transmon。在20 mK下測試了量子比特的能級(jí)躍遷頻率、拉比振蕩、能量弛豫時(shí)間t1等性能,t1約566 ns。t1較短的原因是量子比特躍遷頻率與三維諧振腔頻率接近,耦合過緊。
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