利用洛埃鏡法測量透明薄膜厚度
關(guān)鍵詞：洛埃鏡 透明薄膜 厚度測量 誤差分析
摘要：將一面貼有透明手機保護(hù)膜的光學(xué)玻璃片作為洛埃鏡,激光經(jīng)擴束鏡形成點光源,先掠射入無膜和有膜表面,通過干涉條紋間距測量,得到激光波長和手機保護(hù)膜厚度。波長和膜厚測量結(jié)果相對誤差分別為0.82%和2.7%。文章給出了測量原理、實驗步驟以及數(shù)據(jù)處理結(jié)果。相對于其他透明薄膜厚度測量方法,利用洛埃鏡法測量透明薄膜厚度原理簡單、設(shè)備要求不高、快捷、實用性較強。文章還通過誤差分析提出減少激光波長實驗誤差的方法是測量實虛光源間距時,光源與屏的距離應(yīng)稍大于4倍透鏡焦距,而測量干涉條紋間距時,光源與屏距離越大越好。在進(jìn)行膜厚測量時光源與屏距離不能太大,點光源應(yīng)盡量靠近膜表面。
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