半導(dǎo)體光生電荷分離及遷移原位X射線光電子能譜儀表征分析系統(tǒng)的研制
黃曉卷; 張亞軍; 劉佳梅; 焦正波; 牛建中 中國科學(xué)院蘭州化學(xué)物理研究所公共技術(shù)服務(wù)中心; 甘肅蘭州730000; 中國科學(xué)院蘭州化學(xué)物理研究所羰基合成與選擇氧化國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 甘肅蘭州730000
關(guān)鍵詞：x射線光電子能譜儀 半導(dǎo)體 光生電荷
摘要：在確保X射線光電子能譜儀(XPS)原有超高真空系統(tǒng)及性能指標(biāo)的基礎(chǔ)上,設(shè)計(jì)并研制出一套適用于半導(dǎo)體光生電荷分離及遷移的原位XPS分析測(cè)試系統(tǒng).將XPS與半導(dǎo)體光照體系相結(jié)合,實(shí)現(xiàn)了外載激發(fā)光源與X射線同步照射于半導(dǎo)體表面,觀測(cè)并記錄樣品中特征元素結(jié)合能峰位數(shù)據(jù).通過對(duì)比光照前后結(jié)合能峰位變化,判定光致激發(fā)半導(dǎo)體材料光生電荷分離及遷移的方向及確定其量化數(shù)據(jù).
分析測(cè)試技術(shù)與儀器雜志要求:
{1}論文中計(jì)量單位、外文字母應(yīng)用準(zhǔn)確，插圖和照片應(yīng)清晰。
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