新型圓光柵測(cè)角誤差補(bǔ)償方法及其應(yīng)用
關(guān)鍵詞：精密測(cè)量 圓光柵測(cè)角 測(cè)角誤差 諧波補(bǔ)償 多項(xiàng)式
摘要：在實(shí)際工業(yè)應(yīng)用中,環(huán)境溫度變化是便攜關(guān)節(jié)式坐標(biāo)測(cè)量機(jī)中旋轉(zhuǎn)軸系測(cè)角精度的主要誤差源。為了消除環(huán)境溫度對(duì)旋轉(zhuǎn)軸系測(cè)角精度的影響,本文提出了一種新型圓光柵測(cè)角誤差補(bǔ)償方法,即建立含有環(huán)境溫度影響因子的圓光柵測(cè)角誤差補(bǔ)償模型。利用諧波方法建立在特定溫度下的圓光柵測(cè)角誤差補(bǔ)償模型,利用多項(xiàng)式方法建立諧波系數(shù)與環(huán)境溫度之間的函數(shù)關(guān)系。最后,以14℃下的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)為驗(yàn)證數(shù)據(jù),分別代入到傳統(tǒng)諧波誤差補(bǔ)償模型和本文提出的模型中。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,相對(duì)于傳統(tǒng)諧波誤差補(bǔ)償模型,使用本文提出的模型補(bǔ)償后圓光柵的測(cè)角精度提高4倍左右,修正后的殘差峰峰值在2″以內(nèi),能夠有效地補(bǔ)償10~40℃下圓光柵的測(cè)角誤差。
光學(xué)精密工程雜志要求:
{1}翻譯作品應(yīng)分別注明著者（及國(guó)籍）和譯者。
{2}本刊作者文責(zé)自負(fù)，請(qǐng)勿抄襲，對(duì)于作者稿件侵犯他人版權(quán)的行為，本刊不承擔(dān)連帶責(zé)任。
{3}雜志鼓勵(lì)學(xué)術(shù)創(chuàng)新、探討和爭(zhēng)鳴,所刊文章不代表本刊編輯部立場(chǎng),未經(jīng)授權(quán),不得轉(zhuǎn)載、翻譯。
{4}需附400字左右的中、英文摘要，內(nèi)容必須包括目的、方法、結(jié)果（應(yīng)給出主要數(shù)據(jù)）、結(jié)論四部分，各部分冠以相應(yīng)的標(biāo)題。不分段，用第三人稱撰寫。
{5}頁(yè)下注釋的格式基本與參考文獻(xiàn)格式一致，但需注意的是外文注釋中的作者姓名遵照外國(guó)人名的書寫順序。
注：因版權(quán)方要求，不能公開全文，如需全文，請(qǐng)咨詢雜志社
