基于激光傳感器的液體靜壓導(dǎo)軌模態(tài)仿真與測(cè)試方法研究
關(guān)鍵詞：靜壓導(dǎo)軌 激光傳感器 有限元分析 模態(tài)性能
摘要：在超精密加工設(shè)備中,超精密液體靜壓導(dǎo)軌是其關(guān)鍵部件.影響導(dǎo)軌性能的因素有很多,隨著加工精度的不斷提高,導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性成為了不可忽視的因素之一,導(dǎo)軌模態(tài)性能測(cè)試的準(zhǔn)確性更成為其關(guān)鍵.本文采用某型激光傳感器對(duì)液體靜壓導(dǎo)軌進(jìn)行頻譜響應(yīng)測(cè)量,測(cè)量精度高,測(cè)量準(zhǔn)確.
航空精密制造技術(shù)雜志要求:
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