TiO2薄膜基底上制作多堿光電陰極的探索研究
關鍵詞：多堿陰極 tio2減反膜 原子層沉積 na元素滲透 鈍化膜
摘要：在TiO2薄膜基底上制作多堿光電陰極,發(fā)現多堿光電陰極制作工藝無法正常進行,多堿光電陰極的顏色為暗黑色,并且陰極靈敏度非常低,而正常的多堿光電陰極應為紅褐色。其中TiO2薄膜基底利用原子層沉積(ALD)工藝制備在玻璃窗上,并且具有銳鈦礦晶體結構。X射線衍射儀(XRD)分析發(fā)現,制作多堿陰極后的TiO2薄膜樣品銳鈦礦衍射峰基本消失,另外X射線光電子能譜(XPS)分析發(fā)現該TiO2薄膜樣品不同深度均存在Na元素,由此表明是Na元素滲透到TiO2薄膜中,破壞了薄膜的晶體結構,并且導致多堿光電陰極靈敏度非常低。為此提出了一種在制作多堿光電陰極之前,在TiO2薄膜上利用ALD工藝制作一層Al2O3鈍化膜的方法。經過實驗驗證,證實該方法可以有效避免Na元素滲透到TiO2薄膜,同時多堿光電陰極制作過程可正常進行,多堿光電陰極的顏色為紅褐色,陰極靈敏度超過800μA/lm。這為將來深入研究采用TiO2薄膜作為多堿光電陰極的減反膜打下了基礎。
紅外技術雜志要求:
{1}文稿中摘引他人成果，請按《著作權法》有關規(guī)定指明原作者姓名、作品名稱及其來源，并以注釋的形式在文后列出。
{2}任何投稿都會在收到投稿之日起三個月內回復錄用情況，請勿在審稿期間內將稿件投向他處，如投向他處，請務必來信告知。
{3}稿件必須為原創(chuàng)，內容信息準確無誤，禁止一稿多投。
{4}各級標題不得使用引文標示。正文中如需對引文進行闡述時，引文序號應以逗號分隔并列排列于方括號中，如“文獻[1，2，6，9]從不同角度闡述了……”
{5}摘要應突出論文關鍵內容，不應為標題的摞列。尤其英文摘要更應逐句認真推敲，力求準確無誤。
注：因版權方要求，不能公開全文，如需全文，請咨詢雜志社
