幾種系統(tǒng)參數(shù)下六自由度測(cè)量精度的對(duì)比分析
關(guān)鍵詞：測(cè)量精度 六自由度 位移測(cè)量 系統(tǒng)參數(shù)
摘要：針對(duì)一種基于多準(zhǔn)直光束的六自由度微位移測(cè)量方法,對(duì)系統(tǒng)在幾種典型參數(shù)下的測(cè)量精度進(jìn)行研究。測(cè)量系統(tǒng)利用固定在被測(cè)部分的光纖準(zhǔn)直器發(fā)出準(zhǔn)直光束,入射到固定部分的CCD相機(jī)上。主控單元通過(guò)控制光開關(guān)分時(shí)控制光纖準(zhǔn)直器發(fā)光,在發(fā)光同時(shí)采集相應(yīng)CCD相機(jī)圖像,根據(jù)相機(jī)圖像光點(diǎn)位置變化計(jì)算被測(cè)物體六自由度微位移。采用軟件仿真分析的方式對(duì)幾種典型系統(tǒng)參數(shù)下的系統(tǒng)的六自由度測(cè)量精度對(duì)比分析。結(jié)果表明:在考慮準(zhǔn)直光束隨機(jī)誤差的情況下,4條準(zhǔn)直光束組成準(zhǔn)直光束測(cè)量系統(tǒng),隨機(jī)光束分布時(shí)測(cè)量系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)六自由度微位移的測(cè)量,驗(yàn)證了系統(tǒng)理論的可行性。在發(fā)散式光束和匯聚式光束兩種對(duì)稱4光束模型中,系統(tǒng)測(cè)量精度隨CCD的距離增加而提高,而當(dāng)CCD間距過(guò)近時(shí)系統(tǒng)無(wú)法實(shí)現(xiàn)六自由度位移的正確測(cè)量。
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