垂直耦合懸空型氮化硅微盤光學(xué)傳感器
關(guān)鍵詞：光學(xué)微腔 懸空型微盤 集成光學(xué) 傳感器
摘要：提出了一種垂直耦合型懸空氮化硅微盤諧振型傳感器,該傳感器由一個(gè)底部非懸空的接入波導(dǎo)和一個(gè)頂部懸空的微盤腔組成,并用實(shí)驗(yàn)證明了其具有較高的器件靈敏度和良好的機(jī)械穩(wěn)定性。對(duì)于半徑40μm的微盤,在1548.98nm諧振波長(zhǎng)下可以實(shí)現(xiàn)超過(guò)104的品質(zhì)因數(shù)以及大小適中、5.66nm的自由光譜范圍。該傳感器的靈敏度可通過(guò)覆蓋不同的有機(jī)液體來(lái)測(cè)量,實(shí)驗(yàn)測(cè)得值約為554nm/RIU。該三維傳感器的制備與傳統(tǒng)的光刻工藝相兼容,利于大批量低成本生產(chǎn),同時(shí)憑借器件尺寸小、工藝簡(jiǎn)單、檢測(cè)靈敏度高、響應(yīng)快、免標(biāo)記等特點(diǎn),在國(guó)防安全、生物檢測(cè)和環(huán)境監(jiān)測(cè)等方面具有廣闊的應(yīng)用前景。
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