7A04鋁合金表面制備Cr/CrN復(fù)合膜的研究
關(guān)鍵詞：等離子體增強(qiáng)磁控濺射 組織形貌 結(jié)合力 硬度
摘要：利用等離子體增強(qiáng)非平衡磁控濺射技術(shù),在7A04鋁合金表面制備Cr/CrN的復(fù)合硬質(zhì)薄膜。研究Ar、N2通量比(即FAr/FN2)和腔體壓強(qiáng)對(duì)薄膜形貌、物相組成、膜-基結(jié)合力及硬度的影響。結(jié)果表明:利用磁控濺射技術(shù)可以在7A04鋁合金表面制備出組織致密均勻且與基體結(jié)合良好的Cr/CrN復(fù)合薄膜。隨FAr/FN2增大,組織生長(zhǎng)越來越致密,晶粒形狀由柱狀晶逐漸向等軸晶轉(zhuǎn)變,膜與基體間的結(jié)合力逐漸增大,硬度開始增加然后減小。隨著腔體壓強(qiáng)的增加,組織生長(zhǎng)逐漸疏松,晶粒尺寸逐漸增大,對(duì)膜與基體間結(jié)合力的影響不大。
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