DOE實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)開發(fā)高效的光刻膠剝離液
關(guān)鍵詞：實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì) 混料試驗(yàn) 光刻膠 剝離液
摘要：通過混料實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)篩選出合適的光刻膠剝離液體系及組份含量。對(duì)剝離液體系進(jìn)行持續(xù)溶解監(jiān)控,借助六西格瑪過程控制分析確定更優(yōu)的剝離液組合物。溶膠量的測(cè)試結(jié)果證明,含溶劑二乙二醚丁醚、N-甲基吡咯烷酮、乙醇胺及添加劑200的剝離液,其溶膠量可超4.1 m^2/加侖,這樣就可以減少光刻膠剝離液開槽次數(shù),提高生產(chǎn)效率,降低成本。
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