佳能FPD曝光設(shè)備“MPAsp—H1003T”——實(shí)現(xiàn)2.0μm解析度對65英寸液晶面板的一次曝光
關(guān)鍵詞：一次曝光 液晶面板 曝光設(shè)備 解析度 佳能
摘要：佳能將于2018年10月下旬起正式發(fā)售FPD(FlatPanel Displayl曝光設(shè)備新品,型號為“MPAsp-H1003T”。該產(chǎn)品針對第8代玻璃基板尺寸■1研發(fā),實(shí)現(xiàn)了運(yùn)用2.0μm(L/S■2)的解析度對65英寸液晶面板進(jìn)行一次曝光的技術(shù)。
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