利用射頻與高壓直接耦合等離子體注入進(jìn)行不銹鋼表面改性
關(guān)鍵詞：射頻 高壓 耦合 等離子體離子注入 不銹鋼
摘要：介紹了一種新的等離子體離子注入在不銹鋼表面改性上的應(yīng)用。將高壓脈沖和射頻脈沖直接耦合到工件上，不需外部等離子體源，利用工件自身加射頻產(chǎn)生等離子體，隨后施加高壓對(duì)不銹鋼表面進(jìn)行了注氮處理。XPS分析顯示，在基體表面有氮元素存在，說(shuō)明實(shí)現(xiàn)了射頻與高壓直接耦合的離子注入效果。進(jìn)一步研究表明，等離子體離子注入后，在不銹鋼基體表層形成了Cr2O3以及CrN，F(xiàn)eN等硬質(zhì)相，因此處理后的試件耐摩擦、磨損和耐腐蝕性能得到了較大提高。同時(shí)研究顯示，射頻脈沖寬度或射頻與高壓相位的改變對(duì)摩擦系數(shù)影響不大。
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