基于圖像分析的SEM顯微視覺自動(dòng)聚焦技術(shù)研究
關(guān)鍵詞：sem 自動(dòng)聚焦 圖像分析
摘要：為了快速準(zhǔn)確地獲取清晰的SEM顯微圖像，提出了一種基于圖像分析的SEM顯微視覺自動(dòng)聚焦技術(shù)。該技術(shù)采用了兩級(jí)清晰度評(píng)價(jià)函數(shù)的自動(dòng)聚焦策略，首先利用基于灰度差分的評(píng)價(jià)函數(shù)對(duì)圖像進(jìn)行分析評(píng)價(jià)，然后以大步距遍歷搜索函數(shù)峰值，直至第一次經(jīng)過峰值；接著，再利用基于DCT（discrete cosine transformation）變換的評(píng)價(jià)函數(shù)來分析評(píng)價(jià)圖像之后，以小步距進(jìn)行局部搜索，直至搜索到清晰的SEM顯微圖像，完成SEM的自動(dòng)聚焦。實(shí)驗(yàn)證明，該技術(shù)準(zhǔn)確有效，具有較強(qiáng)的魯棒性和實(shí)時(shí)性。
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