硅微諧振式壓力傳感器閉環(huán)頻率跟蹤電路
許高斌; 徐枝蕃; 胡海霖; 陳興; 馬淵明 合肥工業(yè)大學(xué)電子科學(xué)與應(yīng)用物理學(xué)院; 安徽省MEMS工程技術(shù)研究中心; 安徽合肥230009
關(guān)鍵詞：諧振式壓力傳感器 頻率跟蹤電路 鎖相環(huán) 無相差
摘要：
儀表技術(shù)與傳感器雜志要求:
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