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關(guān)鍵詞：多叉指換能器 rayleigh波 有限元分析 三維建模 模態(tài)分析 

摘要：針對(duì)目前改變Rayleigh波器件中波的傳播方向和強(qiáng)度較復(fù)雜的問(wèn)題,提出了一種多叉指Rayleigh波器件結(jié)構(gòu)和三維建模方案。該三維建模方案用有限元分析法去逼近實(shí)際器件的壓電基片和叉指換能器等真實(shí)器件結(jié)構(gòu)和尺寸。選取壓電基片材料為128°YX-LiNbO3、叉指換能器為Al電極,分別對(duì)叉指換能器數(shù)目為4、6、8的多叉指Rayleigh波器件進(jìn)行三維模型實(shí)驗(yàn),驗(yàn)證了該器件的可行性。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,多叉指Rayleigh波器件可以在不同角度激發(fā)Rayleigh波,該波只有x、y方向的質(zhì)點(diǎn)位移分量,且質(zhì)點(diǎn)的最大位移主要集中在器件表面的中心位置。此外,器件的模態(tài)頻率和質(zhì)點(diǎn)最大位移隨著叉指換能器數(shù)目的增加而增大,由此產(chǎn)生的Rayleigh波強(qiáng)度和器件的混合性能也會(huì)增強(qiáng)。

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